LAYERTEC几十年来一直为用户生产高精度，高反射率等的镜片，Layertec镜片的种类很多，应用领域宽广。在几十年的经验中，Layertec厂家在把控各个参数方面具备较强的能力。此文就讲述了镀膜镜片在ISO 10110标准下的镜片表面质量/表面公差(Surface Form Tolerances)和表面缺陷(划痕)/表面光洁度(Surface Imperfection Tolerances)的含义，句法分析和实例。Layertec对比了MIL标准和ISO
10110标准，最终选择更为合适和更好理解的ISO 10110标准。
表面公差/表面质量Surface Form Tolerances：
目标表面与机械加工表面对比：
由下图，可清晰的看出最外层是机械加工表面，是覆盖在目标表面之上的，而表面公差便是机械加工表面与目标之间多出的部分。
表面参数用曲线图表示如下：
面形公差Surface form deviation
Dt=RMS（矢量误差）；A=PV（最适合球体）
Sagitta误差Dt(弧矢差)=表面公差-倾角（最佳线性RMS拟合值）
不规则性Di/Irregularity=Sagitta误差-最佳拟合球（RMS临界值）
Di= RMS（不规则）；B=PV（不规则）；C=PV（旋转对称部分）
旋转变异部分Rotat. variant part=不规则性-旋转对称部分（RMS临界值）
Da = RMS（旋转变异部分）
上图只显示了三维光学表面的剖面图
句法结构分析Syntax：
3/A(B/C)RMSt - A=Sagitta误差(弧矢差)=^最佳球面的PV；[纳米nm]或[光圈fringes] - B=不规则度；[纳米nm]或[光圈fringes] - C=旋转对称不规则度；[纳米nm]或[光圈fringes] - Dt=sagitta误差的RMS；[纳米nm]或[光圈fringes] - Di=不规则度RMS；[纳米nm]或[光圈fringes] - Da=旋转对称不规则度RMS；[纳米nm]或[光圈fringes] - E=边缘间距的参考波长；[纳米nm] ISO 10110的表面公差句法示例: 示例 含义 3/– (1); RMSa<0.1 B=1光圈=1×λ/2=0.5×546nm=273nm; Da<0.1fringe 3/2(1/0.5); λ=632.8 nm A= 2光圈; B=1光圈; C=0.5光圈; 1光圈=0.5×632.8nm=316.4nm 3/–; RMSt<100nm; RMSi<30nm Dt<100nm; Di<30nm 光圈Fringes to λ： 光圈fringes λ λ = 546 nm 1光圈 λ/2 273 nm 0.5光圈 λ/4 136.5 nm 0.2光圈 λ/10 54.6 nm 0.1光圈 λ/20 27.3 nm 0.04光圈 λ/50 10.92 nm 基本规则： 如果公差规格中没有单位，则以光圈(fringe)为单位。根据ISO 10110-5:2016-04，必须指定参考波长。请注意，在旧版本的标准中，如果没有指定参考波长，则假定λ=546nm（汞电子线Hg e-line）。 注：在直径为6英寸的基板上，λ/10的平面度相当于德国的国土面积上有一个足球的起伏。 表面缺陷偏差（划痕）/表面光洁度Surface Imperfection Tolerances： ISO 10110的表面质量/表面缺陷句法结构分析Syntax： 5/N×B; C N×B; L N×F; E D - A = 缺陷面积[mm2 ] - B =A(等级)[mm] - C = 涂层 - D = 边缘损坏的长度[mm] - E = 边缘损坏 - F = 划痕的宽度[mm] - L = 划痕 - N = 缺陷数量 句法Syntax 含义 举例 5/N×B 最终表面的缺陷（无涂层或有涂层） 5/2×0.01 5/N×B; C N×B 表面的所有缺陷；仅涂层的缺陷 5/4×0.025; C 2×0.063 5/L N×F 额外划痕（长度>2mm） 5/L 3×0.1 5/E D 额外的边缘缺口 5/E 1.0 本目录中的表面缺陷是针对镀膜基材的，有关表面缺陷（尤其是长划痕和边缘缺口）规格的更多信息，请参阅 "LAYERTEC光学涂层和光学指南"。 挖痕和划痕<2mm： 5/N×B N = 缺陷数量（挖痕、长度<2mm的划痕、局部基底缺陷） B = 等级数=A[mm]；A：缺陷面积[mm2] 激光光学元件的首选值（ISO 10110未作规定）：B=0.16, 0.1, 0.063, 0.04, 0.025, 0.016, 0.01 示例： 5/3×0.063 表面瑕疵最多3处，每处最大面积A≤0.063×0.063mm2 只要总面积不超过N×B2mm2（此处为3×0.0632mm2），每个允许的缺陷都可以用较小的缺陷代替，Atotal= A1+A2+A3+......。 面积等于或小于A=(0.16×0.063)2 mm2的缺陷不在考虑之列。 只要不超过规定的总缺陷面积，就可以用较小的缺陷替代：Atotal=∑i Ai Layertec为什么使用ISO 10110标准而不是MIL标准？ MIL: S/D 20–5： - 最大划痕宽度<0.02mm - 最大挖痕尺寸<0.05mm 只说明尺寸，不说明挖掘/划痕的数量。 关于MIL标准，"在给定数量的划痕和凹痕的物理尺寸方面存在混乱"。特别是，"美国光学仪器供应商对划痕规格的解释没有达成一致性的共识"。 ISO 10110: 5/3×0.05 L 1×0.02： - 最大尺寸<0.05mm，挖痕不超过3个 - 划痕不超过1处，最大宽度<0.02mm (长度<2mm的划痕被视为挖痕） 相比之下，ISO 10110标准还规定了允许的最大表面缺陷数量，更加精细。ISO 10110标准直观且易于理解，表面缺陷清晰明确。